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2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

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2-12.edge 제외

2018-01-08

웨이퍼의 외환은 웨이퍼 취급 영역으로 지정되며 스크래치, 구덩이, 헤이즈, 오염, 크레이터, 딤플, 그루브, 토루, 주황색 껍질 및 톱 마크와 같은 표면 기준에서 제외됩니다. 이 고리는 76.2 mm 기판의 경우 2 mm이고 100.0 mm 기판의 경우 3 mm입니다.

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