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2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

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2018-01-08

웨이퍼의 전면 측 표면으로부터 웨이퍼의 후면 측 표면으로 연장되는 웨이퍼의 파단 또는 절단. 균열은 허용 강도의 결정 선으로부터 파단 선을 구별하기 위해 고 강도 조명 하에서 0.010 "길이를 초과해야합니다. 골절 선은 전형적으로 날카 롭고 얇은 전파 선을 나타내어 재료 선을 구분합니다.

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